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应变式溅射薄膜压力传感器零点温漂弥补的快速方式

宣布时候:2018-5-4      宣布人:湖南泽天      点击:

本文先容一种溅射薄膜压力传感器的温度特征,提出一种操纵铜电阻弥补的简洁方式,给出切确、有用的弥补抒发式。起首,给出一个弥补实际公式:

1.  ΔVT= VT-V0

图1(略)是弥补道理图。图中R1~R4是薄膜电阻;rt和r0别离为温度弥补和均衡弥补电阻;Vc为供桥电压。当V0较大时,为消弭V0而引入的r0,将使传感器发生另外一项温度偏差ΔVr。是以,传感器的总零点温度偏差:

ΔV=ΔVT+ΔVr = VT-V0+ΔVr                               (1)

1.1 桥臂电阻变更与电桥输入的干系

弥补前图1电桥的输入: V0= V+- V-  =  VC• (R1•R3-R2•R4)/(R1+R2) •• (R2+R4)             

当桥臂电阻R1和R2发生微变,且VC必然时,对上述微分可求出电桥输入变量

对等臂电桥,R1~R4≈R;当增量ΔR1和ΔR2远小于R时,可用增量取代微变,此时电桥的输入增量:

ΔV0=(ΔR1-ΔR2) •VC/4R                                 (2)

1.2 弥补计较式

当零点弥补电阻r0<<R时,可按下式类似计较r0:

r0= 4R•V0/ VC                                             (3)

设α和β别离为R和r0的温度系数。温度变更时,r0的绝对增量:

Δr0=(β-α) •r0•ΔT = 4R(β-α) •ΔT•V0/ VC

将Δr0取代(2)式中的ΔR2,可求得:

ΔVr=(α-β) •ΔT•V0

代入(1)式求得零点温度偏差:

ΔV= Vr-[1-(α-β) •ΔT] •V0

在R1桥臂中串连温度系数γ较大的温补电阻γτ。温度变更时,γτ的绝对增量使电桥发生对消ΔV的增量。是以按照(2)式有:

-ΔV=ΔVT•VC/4R 

而ΔVT=(γ-α)rt•ΔT

可推导温补电阻计较式:γτ为负时串连在R1或R3桥臂;γτ为正时串连在R2或R4桥臂。本文源自泽天传感,版权一切,转载请保留来由。