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CY10溅射膜压力传感器芯片

文档更新日期:2020-7-30       点击:
  • 关 键 字:   溅射膜压力,压力芯体,CY10
  • 出产厂家:   泽天传感
  • 产物型号:   CY10,ZPM150
  • 数据手册: CY10溅射膜压力传感器芯片数据手册.pdf
  • 产物特色:   靠得住性高,输出阻抗高、功耗小、呼应速率快,无蠕变、不老化
  • 典范利用:   军事产业,石化动力,低温燃油与发念头建造,工程机器与液压体系,科研与实验
产物先容

CY10溅射薄膜压力传感器接纳进步前辈的离束溅射工艺,在弹性膜片上淀积多层薄膜,接纳干法刻蚀手艺将NiCr膜刻蚀成电阻桥。在流体压力感化下,膜片变形使桥路电阻多少尺寸和阻值产生转变,电桥输出与压力成比例的电旌旗灯号。微电子工艺建造出的惠斯登电桥和膜片构成全金属型敏感元件,因为无任何粘贴剂和勾当部件,无密封腔和充油腔,是以具备以下特色。

1、一般任务前提下,不需作任何调剂,零点输出的持久不变性优于±0.1%F.S/年;

2、不管是持续仍是中断通电,室温下传感器的零点漂移偏差优于±0.1%F.S;

3、传感器的综合精度(含非线性、反复性、滞后偏差)可到达0.05级、0.1级;

4、任务温度规模宽:惯例产物-40℃~125℃,特别产物-55℃~180℃;

5、靠得住性高,均匀无端障任务时候跨越50000小时;

6、传感器输出阻抗高、功耗小、呼应速率快;

7、耐湿、抗振动、抗打击、抗电磁与核辐射搅扰;

8、弹性体和应变电阻材料都是金属材料, 溅射工艺取代粘贴工艺, 消弭了胶的影响,无蠕变、不老化、任务温度规模宽、温度特征好;

9、体积小、分量轻,合适多量量组装出产。

利用范畴

军事产业:兵器及实验体系、军用卫星、运载火箭与发射空中支持装配、坦克及战车发念头、航空发念头测试体系、舰艇、、航天器、航天飞翔器飞翔数据测试、弹道导弹、机载激光器压力丈量;

石化动力:油田钻井、测井、录井、试压装备、油井丈量仪器、远洋深海煤油开采平台、自然气、煤油保送管道、电厂、核电站、低温地热发机电;

低温燃油与发念头建造:熄灭室压力、燃油压力节制体系、燃气轮机和发念头测试、内燃机、紧缩机、实验机、蒸汽等低温高压的压力丈量;

工程机器与液压体系:低温液压体系、液压机器、液压泵站、压铸机、静压机等;

船舶交通:船舶建造、柴油机高压共轨压力丈量、汽车压力丈量等;

科研与实验:髙端装备配套、工程名目配套。

手艺参数

CY10手艺参数表

活络度及非线性

CY10活络度及非线性

典范尺寸

CY10形状尺寸

利用指南

1、严禁用手或其余物体打仗膜片外表(应变图形),膜片外表的任何划伤均会破坏膜片;

2、膜片电接点焊接后倡议利用硅凝胶涂覆膜片外表以掩护应变电桥;

3、膜片焊接后,应答传感器组件停止机器不变20次以上,压力巨细为量程的2倍;

4、倡议对应变电阻停止电老化:供电电压10~15VDC,+150℃ 12小时。

相干材料

1、CY10溅射膜压力敏感元件形状尺寸CAD图 请点击下载。

CY10溅射膜压力传感器芯片的更多产物图片
CY10溅射膜压力传感器芯片

CY10溅射膜压力传感器芯

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